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压阻式压力传感器的线性度应该注意哪些事项?

发表时间:2023-03-01 18:39【 阅读量:-查看手机网址
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  压阻式压为感知器的非线性度大概要留意,在非线性规程中,%FS(满满量程,既定值)最易被选用。就自动测量值所说,纵使生产供应商规程列举了个相对小的值,虽然以%FS展现,随机误差也能够拥有十分大的图像。


  在压力值量测单位中,非线性度决定于于3个各种因素:


  1.半导体材料热敏电阻器都要足够的小并粘附到硅膜片上的恰当职位,


  2.硅膜片必须要清洁、非核心锐利且位子科学合理,


  3.曲线度是变动的,无论怎样是侧量正压力還是压力差,这预兆着隔阂是彰显還是凹入(延展或再压缩装载),


  4.硅膜片的尺寸与规格之比须要在相关规模内。愈来愈薄的膜片会为累加伸展而变化:一些彩球边际效应会用于较血压低压高力规模的感知器中会致使非线性弧度的典型性S形弧度(无发使用仿真补赏方式做好较正)。


  5.针对尤其厚的硅膜片,刚度好的固定好在其角处的膜片的预期想象组成部分已不可做到,这是因为譬如针对1,000 bar感测器器,膜片的强度是处理器自身的一边。
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